什么是厚膜加熱?
發布日期:2022-04-21 作者: 點擊:
厚膜集成電路經歷了厚膜電阻、無源網絡、SMT組裝HIC、COB組裝(chip-on-board)HIC、密封微電子系統等階段,演變成今天的多芯片系統(MCS)。紡織技術和厚膜技術已經改變了生產方式,HIC 正在迅速增長。作為功能電路或微電子系統,厚膜HIC涉及電路設計、組裝和封裝等問題。
厚膜加熱是利用微粉和粘合溶劑將超導陶瓷材料組合成漿料,利用絲網印刷技術將漿料以電路布線或圖案的形式印刷在基材上,并通過嚴格的熱處理工藝進行燒結的過程。超導厚膜制成,厚度可在15-80μm范圍內。薄膜層的超導轉變溫度在90K以上,零電阻溫度在80K以上。
典型的厚膜元件的厚度為0.5~1密耳(即12.7~24.5μm)或厚,而薄膜元件的膜層一般小于1μm,導帶可薄到3nm。薄膜技術主要采用蒸發和濺射工藝。厚膜材料通過絲網印刷工藝印刷在絕緣基板上。無機相的選擇可以確定厚膜成分的功能性,金屬或金屬合金無機相成為導體,金屬合金或釘子化合物組成厚膜電阻。平板厚膜加熱器
在微電子領域,厚膜技術和薄膜技術都可以用來在基板上制造導體、電阻和各種介電層。 但兩者不僅在薄膜層的厚度上有所不同,而且在薄膜的制作方式上也有所不同。
它必須具備以下三個方面的性能。
1、為了適印性,染料必須具有特定的粘度,刮刀施加的切變力減小了粘度并含有觸變性。
2、功能特性:如電阻、導體、介質等需要的功能。加熱芯片
3. 工藝一致性:漿料應能很好地粘在基材上。當不同的漿料一起使用時,不同的漿料在整個過程中不會相互產生不利的反應,也不會對基材產生不利的反應。
厚膜技術中使用的基板通常是陶瓷基板。在厚膜混合集成電路中使用得比較廣泛的是95%~97%的氧化鋁基板,其它還有氧化鈹及氮化鋁基板等。
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